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作者
Matthias Uhlig,A. Bertz,J.-W. Erben,Stefan E. Schulz,Thomas Geßner,D. Zeidler,Christian Wenzel,Johann W. Bartha
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2003-08-08 卷期号：70 (2-4): 314-319 被引量：1
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(03)00415-5
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