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作者
Matthias Uhlig,
A. Bertz,
J.-W. Erben,
Stefan E. Schulz,
Thomas Geßner,
D. Zeidler,
Christian Wenzel,
Johann W. Bartha
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2003-08-08
卷期号：70 (2-4): 314-319
被引量：1
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(03)00415-5
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