已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Gate trench dry etching technology with damage blocking layer for GaN HEMT devices

高电子迁移率晶体管 沟槽 干法蚀刻 光电子学 蚀刻(微加工) 阻塞(统计) 材料科学 图层(电子) 浅沟隔离 纳米技术 晶体管 电气工程 计算机科学 工程类 计算机网络 电压
作者
Jie-He Guo,Wei Ke,Sheng Zhang,Xiaoqiang He,Yichuan Zhang,Ruizhe Zhang,Kaiyu Wang,Jianchao Wang,Ailing Zhou,Sen Huang,Yingkui Zheng,Xiaojuan Chen,Xinhua Wang,Xinyu Liu
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:226: 113315-113315 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.113315
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
uu关闭了uu文献求助
2秒前
2秒前
Ava应助科研通管家采纳,获得10
2秒前
2秒前
2秒前
2秒前
thankm完成签到,获得积分10
3秒前
爱听歌秋尽完成签到,获得积分10
3秒前
pililili发布了新的文献求助10
4秒前
林黛玉倒拔垂杨柳完成签到 ,获得积分10
6秒前
AKN完成签到,获得积分10
8秒前
诸忆雪完成签到,获得积分10
9秒前
10秒前
Dpj发布了新的文献求助10
13秒前
15秒前
16秒前
19秒前
小小白发布了新的文献求助10
19秒前
20秒前
20秒前
渭阳野士完成签到,获得积分10
21秒前
打打应助xunuo采纳,获得10
22秒前
桐桐应助拂晓神剑采纳,获得10
22秒前
22秒前
23秒前
25秒前
烟花应助neuron2021采纳,获得10
26秒前
27秒前
pangzou发布了新的文献求助10
28秒前
wonwojo发布了新的文献求助10
28秒前
28秒前
29秒前
lc发布了新的文献求助10
30秒前
脑洞疼应助11_aa采纳,获得10
31秒前
执着的导师完成签到,获得积分0
32秒前
wdy完成签到,获得积分10
33秒前
小马甲应助酷酷的文轩采纳,获得10
35秒前
萌萌小粥完成签到 ,获得积分10
35秒前
36秒前
何一完成签到,获得积分20
39秒前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition 10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition 10000
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Environmental Leverage in Times of Climate Crisis: Product Standards, Carbon Border Measures and Preferential Trade Agreements 1000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition 510
Social Skills Improvement System-Rating Scales--Chinese Version 500
Dynamische Polarisation von H-1 und B-11 in (CH-3)-3NBH-3 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7222425
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8851634
关于积分的说明 18678157
捐赠科研通 6881080
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3187403
关于科研通互助平台的介绍 2352056
邀请新用户注册赠送积分活动 2161685