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Thermo-mechanical characterization of copper through-silicon vias (Cu-TSVs) using micro-Raman spectroscopy and atomic force microscopy

退火（玻璃） 材料科学 残余应力 铜 拉曼光谱 应力松弛 硅 复合材料 温度循环 晶粒生长 粒度 冶金 热的 蠕动 光学 气象学 物理
作者
Parisa Bayat,Dietmar Vogel,Raúl D. Rodriguez,Evgeniya Sheremet,Dietrich R. T. Zahn,Sven Rzepka,Bernd Michel
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2015-02-25 卷期号：137: 101-104 被引量：33
链接
fraunhofer.dedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2015.02.004
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