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Analysis of the 0.65 THz High-Frequency Circuits Fabricated by MEMS Technologies

微电子机械系统 太赫兹辐射 电子线路 材料科学 光电子学 电气工程 电子工程 工程类
作者
Yuxin Wang,Yinyu Zhang,Yuan Zheng,Jie Wu,Ke Yan,Ying Yang,Yubin Gong
出处
期刊：IEEE Transactions on Plasma Science [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-03-22 卷期号：53 (4): 842-847 被引量：2
标识
DOI：10.1109/tps.2025.3549598
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