Fabrication of an ultra-thin low resistance and high stability Ru–Mo–C seedless barrier for advanced Cu dual-damascene interconnects

作者
Jianxiong Zou,Qiran Li,Liwei Lin,Guohua Jiao,Yuanfu Lu,Bo Liu
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:29 (12): 10346-10352 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s10854-018-9091-3

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
今后应助简单小鸭子采纳,获得10
1秒前
董瑞完成签到,获得积分10
2秒前
完美世界应助wjt采纳,获得20
2秒前
天晴应助MYSHOW采纳,获得10
3秒前
哭泣的凝芙完成签到,获得积分20
3秒前
富贵发布了新的文献求助10
3秒前
5秒前
zhangling发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
Jc完成签到 ,获得积分10
8秒前
9秒前
江屿完成签到,获得积分10
9秒前
自觉新竹发布了新的文献求助10
11秒前
打打应助满天星采纳,获得10
11秒前
11秒前
江屿发布了新的文献求助10
12秒前
我是老大应助MYSHOW采纳,获得10
14秒前
Eclipse12138完成签到,获得积分10
14秒前
132完成签到,获得积分10
15秒前
FashionBoy应助zhangling采纳,获得10
17秒前
Hui发布了新的文献求助10
18秒前
19秒前
大约在冬季完成签到,获得积分10
19秒前
19秒前
19秒前
Freja发布了新的文献求助10
19秒前
21秒前
ruruzhang完成签到 ,获得积分10
21秒前
22秒前
懵懂的小夏完成签到 ,获得积分10
22秒前
王者发布了新的文献求助10
23秒前
23秒前
炸毛可乐完成签到 ,获得积分10
23秒前
牛油果发布了新的文献求助10
24秒前
25秒前
HHHH发布了新的文献求助10
26秒前
赵赶超发布了新的文献求助10
26秒前
饭饭完成签到,获得积分10
28秒前
哒哒哒哒哒哒完成签到,获得积分20
28秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
APA handbook of comparative psychology: Basic concepts, methods, neural substrate, and behavior 1000
Child and Adolescent Mental Health 600
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
Römisch-Germanische Forschungen 500
Electric machines: theory, operating applications, and controls 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7600027
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9176144
关于积分的说明 19648011
捐赠科研通 7176125
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3268564
关于科研通互助平台的介绍 2433035
邀请新用户注册赠送积分活动 2262135