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Kinetics of the Nitridation of Silicon

托尔成核硅氮化硅材料科学热重分析氮气大气温度范围氮化物分析化学（期刊）热力学图层（电子）化学无机化学冶金复合材料有机化学物理

作者

Bjørn Myhre,K. Motzfeldt

出处

期刊：Springer eBooks [Springer Nature]
日期：1990-01-01 卷期号：: 29-44 被引量：10

标识

DOI：10.1007/978-94-009-2101-6_3

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