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Elimination of space charge effects in passivation films: the key to substantially enhancing the dielectric properties of tantalum oxide films
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作者
Jiping Zhao,
Jingjing Liu,
Xiaoxuan Zhu,
Beibei Wang,
Hongbing Cai,
Jingsong Xu
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (25): 12934-12943
被引量：1
标识
DOI：10.1039/d5tc01178g
摘要
This study reveals for the first time the influence mechanism of the dual-layer structure in the native passivation film on the dielectric breakdown of Ta 2 O 5 , providing critical insights for enhancing the reliability of tantalum capacitors.
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