Etch Rate Uniformity Monitoring for Photoresist Etch Using Multi-channel Optical Emission Spectroscopy and Scanning Floating Harmonic Probe in an Inductively Coupled Plasma Reactor

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作者
Sang‐Hun Lee,Sang-Hee Han,Jaehyeon Kim,Minsung Jeon,Heeyeop Chae
出处
期刊:Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Nature]
卷期号:44 (6): 2247-2262
标识
DOI:10.1007/s11090-024-10498-0

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