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Shield-layers for reducing thermoelastic damping in resonating Silicon bars
作者
Rashed Mahameed,
David Elata
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2008-07-07
卷期号：15 (2): 323-331
被引量：6
标识
DOI：10.1007/s00542-008-0667-3
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