Pathway and control of oxygen transport in the melt during single crystal silicon growth by continuous-feeding Czochralski method

直拉法 晶体生长 氧气 材料科学 结晶学 单晶 化学 矿物学 光电子学 有机化学
作者
Jiancheng Li,Junlei Wang,Zeqi Zhong,Zaoyang Li,Yong Wen,Lei Wang,Lijun Liu
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:662: 128183-128183 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2025.128183
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