SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Physical and electrical characterization of ALCVD™ TiN and WNxCy used as a copper diffusion barrier in dual damascene backend structures (08.2)
作者
S. E. Smith,
Weimin Li,
Kai‐Erik Elers,
Klaus Pfeifer
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2002-10-01
卷期号：64 (1-4): 247-253
被引量：28
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(02)00796-7
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Atlantis
发布了新的
文献求助
10
1秒前
CX
完成签到，获得积分
10
1秒前
李李
发布了新的
文献求助
10
2秒前
Hello
的
应助
被
warithy
采纳，获得
10
2秒前
无所谓的所谓
发布了新的
文献求助
10
2秒前
大意的罡
发布了新的
文献求助
10
2秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
3秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
99v587
采纳，获得
10
4秒前
打打
的
应助
被
千与千寻
采纳，获得
10
5秒前
orixero
的
应助
被
lllll
采纳，获得
10
5秒前
潇湘客
发布了新的
文献求助
10
5秒前
Atlantis
完成签到，获得积分
10
5秒前
zzmole
完成签到，获得积分
10
6秒前
MYSHOW
发布了新的
文献求助
10
8秒前
李李
完成签到，获得积分
20
9秒前
拓拓
发布了新的
文献求助
10
12秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
12秒前
orixero
上传了
应助文件
14秒前
what
完成签到，获得积分
20
15秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
15秒前
潇湘客
完成签到，获得积分
10
15秒前
Lucas
的
应助
被
Arand
采纳，获得
10
16秒前
无所谓的所谓
完成签到，获得积分
10
16秒前
打打
上传了
应助文件
16秒前
lllll
发布了新的
文献求助
10
17秒前
搜集达人
的
应助
被
MYSHOW
采纳，获得
10
18秒前
hhh
上传了
应助文件
18秒前
Hello
上传了
应助文件
19秒前
口腔张
发布了新的
文献求助
10
19秒前
千与千寻
发布了新的
文献求助
10
20秒前
hqy
完成签到，获得积分
10
20秒前
汉堡包
上传了
应助文件
20秒前
Jeremy
完成签到，获得积分
10
21秒前
英俊的铭
的
应助
被
D调的华丽
采纳，获得
10
22秒前
完美世界
的
应助
被
阿萨十大
采纳，获得
10
23秒前
warithy
发布了新的
文献求助
10
24秒前
LordRedScience
完成签到，获得积分
10
25秒前
上官若男
上传了
应助文件
25秒前
高小鹅
上传了
应助文件
26秒前
wssy
上传了
应助文件
26秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
APA handbook of comparative psychology: Basic concepts, methods, neural substrate, and behavior
1000
Child and Adolescent Mental Health
600
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide
500
Römisch-Germanische Forschungen
500
Electric machines: theory, operating applications, and controls
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7600027
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9176144
关于积分的说明
19648011
捐赠科研通
7176125
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3268564
关于科研通互助平台的介绍
2433035
邀请新用户注册赠送积分活动
2262135
今日热心研友
张欢馨
285
2540
woshi123
266
2520
cdercder
112
1320
yjh123
47
1730
Kao
91
1180
22336
90
1190
Criminology34
84
630
丰富语蕊
58
790
Enigma_GEB
72
520
v0id
1070
aajhajkahna
57
490
xing_xing
42
640
aubusson
1050
乐空思
1045
MchemG
69
250
稳重的菠萝
61
310
OK
800
Oracle
600
ming2026
31
250
囧囧
27
280
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
张欢馨
woshi123
cdercder
yjh123
Kao
22336
Criminology34
丰富语蕊
Enigma_GEB
v0id
aajhajkahna
xing_xing
aubusson
乐空思
MchemG
稳重的菠萝
OK
Oracle
ming2026
囧囧
皖公网安备34019202002308
