Review—Mechanical Stress in Chemically Vapor Phase Deposited Boron- and Phosphorus-Contained Silicate Glass Thin Films: A Review

已完结

文献求助详情

标题	Review—Mechanical Stress in Chemically Vapor Phase Deposited Boron- and Phosphorus-Contained Silicate Glass Thin Films: A Review 相关领域材料科学化学气相沉积硼等离子体增强化学气相沉积微电子极限抗拉强度复合材料抗压强度薄膜压力（语言学）化学工程光电子学纳米技术有机化学化学工程类哲学语言学
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ab8d93
DOI	10.1149/2162-8777/ab8d93 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Vladislav Yu. Vasilyev; Gjermund Kittilsland 出版日期：2020-05-13
求助人	666 在 2025-11-07 19:50:58 发布自中国，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 乐乐的应助被yss采纳，获得10

刚刚; 万能图书馆的应助被xing采纳，获得10

7秒前; qqq完成签到，获得积分10

16秒前; 怕黑面包完成签到，获得积分10

17秒前; 欢呼小蚂蚁发布了新的文献求助10

23秒前; 科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10

35秒前; 大个上传了应助文件

45秒前; 王哈哈发布了新的文献求助30

48秒前; 玛琳卡迪马完成签到，获得积分10

55秒前; 热情越彬完成签到，获得积分20

1分钟前; 葉鳳怡完成签到，获得积分10

1分钟前; Akim上传了应助文件

1分钟前; qiushiwo发布了新的文献求助10

1分钟前; zqq完成签到，获得积分0

1分钟前; 盐岩妍完成签到，获得积分10

1分钟前; andrele上传了应助文件

1分钟前; 打打上传了应助文件

1分钟前; fmx发布了新的文献求助10

1分钟前; 星辰大海的应助被佳宝（不可以喝但能吃采纳，获得10

2分钟前; 星辰大海上传了应助文件

2分钟前; 佳宝（不可以喝但能吃发布了新的文献求助10

2分钟前; 领导范儿的应助被qyn1234566采纳，获得10

2分钟前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 上官若男的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 佳宝（不可以喝但能吃完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

2分钟前; 有魅力的涵雁发布了新的文献求助10

2分钟前; 领导范儿上传了应助文件

3分钟前; 不安青牛的应助被nyc采纳，获得10

3分钟前; 可爱的函函的应助被有魅力的涵雁采纳，获得10

3分钟前; 英姑上传了应助文件

3分钟前; uu发布了新的文献求助10

3分钟前; FIZZES完成签到，获得积分10

3分钟前; Fizzes完成签到，获得积分10

3分钟前; 漂亮的不言发布了新的文献求助10

3分钟前; 斯文败类的应助被曲淳采纳，获得10

3分钟前; 仔仔完成签到，获得积分10

3分钟前; 斯文败类上传了应助文件

4分钟前; qingshu完成签到，获得积分10

4分钟前; 曲淳发布了新的文献求助10

4分钟前