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 Effect of temperature on growth of epitaxial layer on semi-insulating 4H-SiC substrate 温度对4H-SiC半绝缘衬底外延层生长的影响
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Siqi Zhao; Junhong Chen; Hao Yu; Guoguo Yan; Zhanwei Shen; et al 出版日期：2022-11-23 |
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