Taming the boundary effect: Femtosecond laser slicing of 4H-SiC enabled by side scribing for improved processability

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标题	Taming the boundary effect: Femtosecond laser slicing of 4H-SiC enabled by side scribing for improved processability
网址	https://doi.org/10.1063/5.0325620
DOI	10.1063/5.0325620 doi
其它	期刊：Nanotechnology and Precision Engineering 作者：Cheng-Qi Yao; Jian-Shi Wang; Bing Dong; Zong-Wei Xu; Ying Song; et al 出版日期：2026-09-08
求助人	啦啦啦啦在 2026-10-15 21:22:54 发布自北京，悬赏 10 积分
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