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 Polysilicon thin film piezoresistive pressure microsensor: design, fabrication and characterization 相关领域
材料科学
压阻效应
制作
绝缘体上的硅
压力传感器
有限元法
光电子学
硅
微电子机械系统
振膜（声学）
体微机械加工
激光多普勒测振仪
夹紧
表面微加工
电子工程
声学
振动
结构工程
工程类
机械工程
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物理
医学
病理
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波长
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期刊：Microsystem Technologies 作者：Surender Kumar; B. D. Pant 出版日期：2015-09-01 |
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