Plasma etching profile evolution prediction based on edge-extended long short-term memory network

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标题	Plasma etching profile evolution prediction based on edge-extended long short-term memory network
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0005482
DOI	10.1116/6.0005482 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Zi-Heng Liu; Ze-Xuan Liu; Jun-Yi An; Quan-Zhi Zhang 出版日期：2026-08-14
求助人	大胆的涵柏在 2026-09-12 15:02:50 发布自四川，悬赏 10 积分
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