| 标题 |
 Calibration method of silicon 〈111〉 orientation and its application in fabrication of silicon grating by anisotropic wet etching |
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| DOI |
10.3788/ope.20182601.0001
doi
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| 其它 |
期刊：Optics and Precision Engineering 作者：梁榉曦 LIANG Ju-xi; 郑衍畅 ZHENG Yan-chang; 邱克强 QIU Ke-qiang; 刘正坤 LIU Zheng-kun; 徐向东 XU Xiang-dong; et al 出版日期：2018-03-14 |
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