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  Isotropic atomic layer etchings of various materials by using dry chemical removal 相关领域
薄脆饼
干法蚀刻
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反应离子刻蚀
制作
图层（电子）
各向同性腐蚀
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hiroto Ohtake; Nobuya Miyoshi; Kazunori Shinoda; Sumiko Fujisaki; Y. Yamaguchi 出版日期：2022-12-28 |
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