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标题
Low-energy Ar+ ion-beam-induced chemical vapor deposition of silicon dioxide films using tetraethyl orthosilicate
低能Ar+离子束诱导正硅酸乙酯化学气相沉积二氧化硅薄膜
相关领域
正硅酸乙酯 二氧化硅 基质（水族馆） X射线光电子能谱 硅 傅里叶变换红外光谱 材料科学 离子束 薄膜 沉积（地质） 分析化学（期刊） 离子 原硅酸盐 化学工程 化学 纳米技术 光电子学 有机化学 复合材料 古生物学 工程类 地质学 海洋学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2023.e14643
AI链接 doi.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.1016/j.heliyon.2023.e14643 doi
其它 期刊：Heliyon
作者：Satoru Yoshimura; Satoshi Sugimoto; Takae Takeuchi; Masato Kiuchi
出版日期：2023-03-17
求助人
老实天真 在 2025-07-10 10:51:15 发布自湖北，悬赏 10 积分
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