Study on tin contamination deposition mechanism on collector mirror surfaces in LPP-EUV light sources based on hydrodynamics and particle simulation theory

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标题	Study on tin contamination deposition mechanism on collector mirror surfaces in LPP-EUV light sources based on hydrodynamics and particle simulation theory 相关领域极紫外光刻锡粒子（生态学）机制（生物学）沉积（地质）颗粒沉积污染材料科学物理化学物理光学机械冶金地质学量子力学海洋学生物古生物学湍流生态学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114024
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114024 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Wenhao Shen; Qipeng Lü; Yuan Song; Xuepeng Gong; Kewei Chai; et al 出版日期：2025-01-08
求助人	阳光总在风雨后在 2026-11-13 16:54:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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