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标题
Integrated Deep Trench Capacitor in Si Interposer for CoWoS Heterogeneous Integration
用于CoWoS异构集成的硅内插层中集成深沟电容
相关领域
材料科学 中间层 电容器 电气工程 光电子学 电容 电介质 物理 纳米技术 电压 工程类 蚀刻（微加工） 电极 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1109/IEDM19573.2019.8993498
DOI
10.1109/IEDM19573.2019.8993498 doi
其它 期刊：
作者：S. Y. Hou; Cheng‐Hsien Wu; Douglas Yu; Harry Hsia; Chung-Hsien Tsai; et al
出版日期：2019-12-01
求助人
Fzx 在 2025-11-03 14:25:24 发布自湖北，悬赏 10 积分
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