Inductively coupled plasma etching of two-dimensional InP/InGaAsP-based photonic crystal

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标题	Inductively coupled plasma etching of two-dimensional InP/InGaAsP-based photonic crystal
网址	https://doi.org/10.7498/aps.56.977
DOI	10.7498/aps.56.977 doi
其它	期刊：Chinese Physics 作者：Ma Xiao-Tao; Zheng Wan-Hua; Gang Ren; Zhongchao Fan; Lianghui Chen 出版日期：2007-01-01
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