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High-temperature electrostatic chuck for nonvolatile materials dry etch |
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者:S. Kanno; M. Edamura; K. Yoshioka; R. Nishio; S. Kanai; et al 出版日期:2005-02-01 |
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