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标题
Use of plasma process diagnostic sensors for the monitoring of in situ dry cleaning of plasma enhanced chemical vapor deposition chamber
使用等离子体过程诊断传感器监测等离子体增强化学气相沉积室的原位干洗
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 等离子体 原位 薄脆饼 远程等离子体 化学气相沉积 X射线光电子能谱 薄膜 干法蚀刻 残余气体分析仪 四极杆质量分析仪 分光计 材料科学 等离子清洗 化学 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 质谱法 环境化学 光学 蚀刻（微加工） 色谱法 工程类 有机化学 物理 图层（电子） 量子力学
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/6.00032...
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1116/6.0003288 doi
求助人
春暖花开 在 2026-01-01 20:44:14 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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