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 Performance Enhancement of MOCVD Grown β-Ga2O3 MOSFETs on Silicon Substrates via AlN Buffer Layer 相关领域
材料科学
金属有机气相外延
光电子学
硅
化学气相沉积
缓冲器（光纤）
图层（电子）
X射线光电子能谱
阈值电压
晶体管
纳米技术
电压
电气工程
外延
化学工程
工程类
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：Anoop Kumar Singh; Shi‐Ming Huang; Jun-Hong Shen; Tung-Han Wu; Wen-Hao Lee; et al 出版日期：2025-01-03 |
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(2025-6-4)
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