Impact of plasma treatment time on MOCVD-TiN properties and on the electrical performance of deep contacts

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标题	Impact of plasma treatment time on MOCVD-TiN properties and on the electrical performance of deep contacts
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0167-9317(00)00449-4
DOI	10.1016/s0167-9317(00)00449-4 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：A Sabbadini; F Cazzaniga; S Alberici; C Bresolin; G Casati; et al 出版日期：2001-03-01
求助人	子不语在 2026-06-30 11:14:30 发布自江苏，悬赏 10 积分
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