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 DFT Study on CO2- and H2O-Enhanced Solubility Contrast in Tin-Oxo Cage Photoresists CO2和H2O增强锡氧笼型光刻胶溶解度对比的DFT研究
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期刊：Langmuir 作者：Fangling Yang; Zongbiao Ye; Dongxu Yang; Minghui Wang; Yuqi Chen; et al 出版日期：2025-09-25 |
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