Plasma-assisted polishing with self-limiting surface modification for sub-nanometer finishing of AlN ceramics

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标题	Plasma-assisted polishing with self-limiting surface modification for sub-nanometer finishing of AlN ceramics
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S027288422...
DOI	10.1016/j.ceramint.2026.02.123 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Tong Tao; Rongyan Sun; Yuji Ohkubo; Kazuya Yamamura 出版日期：2026-02-10
求助人	稳稳在 2026-03-02 16:51:56 发布自吉林，悬赏 10 积分
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