Reference wave source based on silicon nitride waveguide in point diffraction interferometer

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标题	Reference wave source based on silicon nitride waveguide in point diffraction interferometer 点衍射干涉仪中基于氮化硅波导的参考波源相关领域光学干涉测量衍射材料科学氮化硅波导管硅点源光电子学物理
网址	https://doi.org/10.1364/ao.383740 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1364/ao.383740 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Yuankai Chen; Yongying Yang; Chen Wang; Yao Li; Jian Bai 出版日期：2020-01-07
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