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 Reference wave source based on silicon nitride waveguide in point diffraction interferometer 点衍射干涉仪中基于氮化硅波导的参考波源
相关领域
光学
干涉测量
衍射
材料科学
氮化硅
波导管
硅
点源
光电子学
物理
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Yuankai Chen; Yongying Yang; Chen Wang; Yao Li; Jian Bai 出版日期：2020-01-07 |
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