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标题
In-line wavefront aberration adjustment of a projection lens for a lithographic tool using the dominant mode method
网址
http://dx.doi.org/10.1364/AO.58.004176
DOI
10.1364/AO.58.004176 doi
求助人
oxfocean 在 2026-08-27 13:54:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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