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[高分] 专利、报告等 行业标准《制备钌靶用钌粉》
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行业标准《制备钌靶用钌粉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。 主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 。 主要起草人 谭志龙 、郭俊梅 、熊晓东等 。本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。 |
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(2025-6-4)
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