Investigation of groove surface induced by strain relaxation in selective epitaxy SiGe process

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标题	Investigation of groove surface induced by strain relaxation in selective epitaxy SiGe process
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/6205554/6212790/06212848...
DOI	10.1109/iwjt.2012.6212848 doi
其它	期刊：International Workshop on Junction Technology 作者：Lan Jin; Huojin Tu; Youfeng He; Jing Lin; Yonggen He; et al 出版日期：2012-05-14
求助人	bin 在 2026-07-15 13:23:36 发布自安徽，悬赏 10 积分
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