First Demonstration of Three-Dimensional Thermal Conductivity Distribution Measurements of Interconnect Stacks Down to 3nm Process Nodes - 科研通

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标题	First Demonstration of Three-Dimensional Thermal Conductivity Distribution Measurements of Interconnect Stacks Down to 3nm Process Nodes
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iedm50572.2025.11353753
DOI	10.1109/iedm50572.2025.11353753 doi
其它	期刊：2025 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 作者：Zifeng Huang; Kaiqi Yang; Yiyun He; Zuoyuan Dong; Zixuan Sun; et al 出版日期：2025-12-06
求助人	悦耳小土豆在 2026-09-03 16:19:37 发布自广东，悬赏 10 积分
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