Supramolecular surface modification of ceria nanoparticles for enhanced chemical mechanical planarization performance in shallow trench isolation

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标题	Supramolecular surface modification of ceria nanoparticles for enhanced chemical mechanical planarization performance in shallow trench isolation
网址	https://doi.org/10.1039/d5dt01483b
DOI	10.1039/d5dt01483b doi
其它	期刊：Dalton Transactions 作者：Haining Zhang; Chenyan Zhao; Xueli Sun; Caiyan Xin; Fangwei Lu; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	英吉利25 在 2026-09-22 22:34:50 发布自天津，悬赏 10 积分
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