Investigations on residual chemical contamination on machining aluminum components of turbo molecular pumps

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标题	Investigations on residual chemical contamination on machining aluminum components of turbo molecular pumps
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X1...
DOI	10.1016/j.vacuum.2014.07.031 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Andrea Vinci; Bernard Pelissier; Catherine Le Guet; Hervé Fontaine; Rainer Mathes; et al 出版日期：2014-08-08
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