Characteristics and Compositional Variation of TiN Films Deposited by Remote PEALD on Contact Holes

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标题	Characteristics and Compositional Variation of TiN Films Deposited by Remote PEALD on Contact Holes 接触孔上远程PEALD沉积TiN薄膜的特性及成分变化相关领域锡材料科学原子层沉积金属有机气相外延退火（玻璃）无定形固体化学气相沉积杂质氢分析化学（期刊）薄膜碳纤维图层（电子）纳米技术冶金化学复合材料结晶学环境化学外延有机化学复合数
网址	https://doi.org/10.1149/1.1825913
DOI	10.1149/1.1825913 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Ju Youn Kim; Do Youl Kim; Hee Ok Park; Hyeongtag Jeon 出版日期：2004-12-22
求助人	舒适涵山在 2025-08-14 11:32:48 发布自安徽，悬赏 10 积分
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