Impact of sputter deposition parameters on molybdenum nitride thin film properties

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标题	Impact of sputter deposition parameters on molybdenum nitride thin film properties
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/25/7/074001
DOI	10.1088/0960-1317/25/7/074001 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：L Stöber; J P Konrath; S Krivec; F Patocka; S Schwarz; et al 出版日期：2015-05-22
求助人	kid 在 2026-09-03 16:28:52 发布自河北，悬赏 10 积分
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