| 标题 |
 Investigation of persulfate oxidizers in Co CMP slurry through Co surface adsorption and oxidation behaviors 相关领域
吸附
过硫酸盐
泥浆
化学工程
材料科学
表面改性
无机化学
化学
有机化学
催化作用
复合材料
工程类
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Eun Su Jung; Jin Hyun Choe; Chae Yeon Lee; JinUk Yoo; Tae Min Choi; et al 出版日期：2025-01-02 |
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