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High-K materials and metal gates for CMOS applications 用于CMOS应用的高K材料和金属栅极
相关领域
材料科学
金属浇口
栅氧化层
栅极电介质
光电子学
高-κ电介质
等效氧化层厚度
随时间变化的栅氧化层击穿
CMOS芯片
晶体管
氧化物
多晶硅
电介质
阈值电压
电子工程
纳米技术
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期刊:Materials Science and Engineering R 作者:John Robertson; Robert M. Wallace 出版日期:2015-02-01 |
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