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标题
Simulation-Driven Insights Into Nanoindentationbased Adhesion Strength Measurement of Wafer-to-Wafer Bonds
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11006522/11006527/110065...
DOI
10.1109/eurosime65125.2025.11006560 doi
其它 期刊：2025 26th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE)
作者：Yusuf Burak Ozdemir; Oguzhan Orkut Okudur; Kris Vanstreels; Mario Gonzalez; Clement Merckling
出版日期：2025-05-24
求助人
danli 在 2026-03-11 11:36:25 发布自美国，悬赏 10 积分
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