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 Displacement amplification of piezoelectric microactuators with a micromachined leverage unit 微机械杠杆单元压电微致动器的位移放大
相关领域
表面微加工
执行机构
杠杆
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Christian Bolzmacher; Karin Bauer; U. Schmid; Moustapha Hafez; H. Seidel 出版日期：2009-10-23 |
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