Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas

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标题	Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004640
DOI	10.1116/6.0004640 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Qian Luo; Tuo Lv; Pengyu Wang; Da-Peng Zhou; Fei Gao; et al 出版日期：2025-06-13
求助人	圆圆在 2026-10-15 20:37:15 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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