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标题
Antimony‐Oxo‐Cluster‐Based Polymers as Positive‐Tone EBL/EUV Photoresists: Lithography Performance Enhancement by Network Structure Modulation
锑氧簇基聚合物作为正色调EBL/EUV光致抗蚀剂:通过网络结构调制提高光刻性能
相关领域
极紫外光刻 材料科学 调制(音乐) 平版印刷术 光电子学 聚合物 星团(航天器) 语调(文学) 纳米技术 物理 计算机科学 声学 复合材料 艺术 文学类 冶金 程序设计语言
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AI识别 10.1002/admt.202501464 doi
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强健的三颜 在 2025-10-02 14:13:40 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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