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标题
Tunable metamaterials with carrier-induced effective permittivity for active control of electromagnetic fields in semiconductor manufacturing device
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ad57ee
DOI
10.1088/1361-6595/ad57ee doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Minyeul Lee; Sungyoung Yoon; Meehyun Lim; Sungyeol Kim; Jonghwa Shin
出版日期：2024-06-14
求助人
壮观外套 在 2026-05-30 16:55:52 发布自浙江，悬赏 10 积分
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