Seed-guided high-repetition-rate femtosecond laser oxidation for functional three-dimensional silicon structure fabrication

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标题	Seed-guided high-repetition-rate femtosecond laser oxidation for functional three-dimensional silicon structure fabrication 用于功能三维硅结构制造的种子引导高重复率飞秒激光氧化相关领域飞秒材料科学制作硅激光器重复（修辞手法）光电子学光学物理医学语言学哲学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.111348
DOI	10.1016/j.optlastec.2024.111348 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Jingbo Yin; Minghui Hong 出版日期：2024-06-20
求助人	白石桥的锁匠在 2025-08-29 11:03:50 发布，悬赏 10 积分
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