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标题
Synthesis of silicon nitride by sequential magnetron sputtering of silicon and nitrogen ion bombardment
网址
https://opg.optica.org/viewmedia.cfm?URI=OIC-1992-OThA7&seq=...
DOI
10.1364/oic.1992.otha7 doi
其它 期刊：Optical Interference Coatings
作者：R P Netterfield; P J Martin; A Bendavid; T J Kinder
出版日期：2023-02-22
求助人
vc 在 2026-09-10 16:28:00 发布自河南，悬赏 10 积分
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