Surface investigation of the morphological evolution and formation mechanism of nanoscale growth pits in 4H-SiC homoepitaxy

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标题	Surface investigation of the morphological evolution and formation mechanism of nanoscale growth pits in 4H-SiC homoepitaxy
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115352
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115352 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Xiyao Huang; Mingsheng Xu; Xinyue Hou; Yong Yang; Qingyu Li; et al 出版日期：2026
求助人	陈豪杰在 2026-06-15 17:12:56 发布自海南，悬赏 10 积分
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