Low-temperature surface nitrogen doping and plasma-enhanced atomic layer deposition of β -Ga 2 O 3 using an N 2 ( C 3 Π u )—rich rf nitrogen plasma

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标题	Low-temperature surface nitrogen doping and plasma-enhanced atomic layer deposition of β -Ga 2 O 3 using an N 2 ( C 3 Π u )—rich rf nitrogen plasma
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/aea0da
DOI	10.35848/1347-4065/aea0da doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：S. Ata; T. Yoshimura; T. Nagata; M. Kobata; T. Fukuda; et al 出版日期：2026-09-15
求助人	zzk 在 2026-09-22 15:26:33 发布自山东，悬赏 10 积分
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