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 专利、报告等 Corrosion and Passivation of Copper 相关领域
腐蚀
化学机械平面化
钝化
铜
氧化剂
材料科学
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铜水管的冲蚀腐蚀
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期刊：Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing 作者：Darryl W. Peters 出版日期：2010-12-20 |
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