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 A molecular dynamics study of deposition rate dependence of film morphology in the sputtering process 相关领域
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Shin‐Pon Ju; Cheng‐I Weng; Jee‐Gong Chang; Chi‐Chuan Hwang 出版日期：2002-01-01 |
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